20世纪70年代之前，电子工业中使用的高纯氯化氢的制备方法是将浓硫酸滴加到浓盐酸中，吸收其中的水分，从而析出过饱和氯化氢气体。20世纪70年代至80年代初，发展了用浓硫酸与烤盐反应生成高纯度氯化氢气体，然后用压缩机压缩到钢瓶中的制备方法。
    氯气与氢气在合成炉中燃烧反应生成氯化氢气体是在20世纪80年代初为适应我国电子工业的快速发展而提出的。它的技术是比较先进的。吸附净化，低温低压冷凝，消除不凝性气体杂质，液态装瓶。氯气与氢气的合成中，氢气过量约5%，氯化氢气体中氢气含量较高，采用间歇式精馏装置脱除氢气。另外，原料氢采用钯膜扩散纯化，生产规模受到一定限制。推荐阅读相关文章：氯化氢厂家提示：氯化氢钢瓶要定期检验