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七十年代以前,电子工业用高纯度氯化氢的制备一直是将浓硫酸滴加到浓盐酸中,将其中的水吸收掉,使得过饱和的氯化氢气体析出。到了七十年代到八十年代初期,制备方法发展到用浓硫酸与焙烘干的食盐反应,生成高纯度的氯化氢气体,再用压缩机压入钢瓶中。
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