电子级氯化氢主要用于外延生长前硅和砷化镓的高温气相刻蚀，去除钠离子。此外，高纯氯化氢还用于金属表面的化学处理、激光混合气体、制膜和碳纤维表面处理。
    过去，我国大部分从美国、日本等国家进口电子级氯化氢。然而，近年来，我国电子工业所需的化学气体的开发有了许多突破和发展。那么电子级氯化氢怎么制备呢？接下来具体看一下。
    H2SO4+NaCl=NaHSO4+HCl                
    H2SO4+2NaCl加热 Na2SO4+HCl
    加热Na2SO4 HCl世纪70年代以前，电子工业用高纯氯化氢的制备是将浓硫酸滴入浓盐酸中吸收其中的水分，使过饱和氯化氢气体析出。从20世纪70年代到80年代初，制备方法发展到用浓硫酸与焙烧盐反应生成高纯度氯化氢气体，然后用压缩机压入钢瓶。